Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на ос­но­ве соединений A3B5

  • С. Б. Александров ЗАО «Научное и технологическое оборудование», Санкт-Петербург, Россия
  • K. M Крупальник ЗАО «Научное и технологическое оборудование», Санкт-Петербург, Россия
  • H. O. Корнилов ЗАО «Научное и технологическое оборудование», Санкт-Петербург, Россия
  • T. A. Кон­дра­тье­ва ЗАО «Научное и технологическое оборудование», Санкт-Петербург, Россия
Ключові слова: полупроводниковые приборы, омические контакты, электронно-лучевое напыление

Анотація

Рассмотрены особенности технологического процесса формирования омических контактов по­лу­про­вод­ни­ко­вых приборов на основе соединений А3В5, общие принципы построения тех­но­ло­ги­чес­ких модулей. Показаны результаты, полученные с помощью установок электронно-лу­че­во­го напыления серии STE EB и установок быстрого термического отжига серии STE RTA.

Опубліковано
2011-04-28
Як цитувати
Александров, С. Б., КрупальникK. M., КорниловH. O., & Кон­дра­тье­ваT. A. (2011). Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на ос­но­ве соединений A3B5. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (1–2), 49-52. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.1-2.49
Номер
№ 1–2 (2011): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2011 Александров С. Б., Крупальник К. М., Корнилов Н. А., Кон­дра­тье­ва Т. А.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.