Первичные преобразователи давления криогенных жидкостей

  • А. А. Дружинин Национальный университет «Львовская политехника», Украина
  • И. И. Марьямова Национальный университет «Львовская политехника», Украина
  • А. П. Кутраков Национальный университет «Львовская политехника», Украина
  • И. В. Павловский Национальный университет «Львовская политехника», Украина
Ключові слова: кремний, пьезосопротивление, тензорезистивный преобразователь давления, криогенные жидкости, жидкий азот, жидкий гелий

Анотація

Предложена универсальная конструкция тензорезистивного первичного преобразователя для измерения давления криогенных жидкостей на основе нитевидных кристаллов Si p-типа с разной концентрацией бора, закрепленных на упругих элементах (балках) из инварного сплава, в диапазоне деформаций ε=±1,2·10-3 и температур 4,2-300 К. Показана возможность создания преобразователей давления жидкого азота и жидкого гелия на основе классического тензорезистивного эффекта, а также значительного увеличения чувствительности на основе неклассического тензорезистивного эффекта. Приведены разработанные первичные преобразователи давления криогенных жидкостей.

Опубліковано
2007-12-30
Як цитувати
Дружинин, А. А., Марьямова, И. И., Кутраков, А. П., & Павловский, И. В. (2007). Первичные преобразователи давления криогенных жидкостей. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (6), 30-32. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.6.30
Номер
№ 6 (2007): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2007 Дружинин А. А., Марьямова И. И., Кутраков А. П., Павловский И. В.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.