Оценка технологического процесса изготовления СБИС по стабильности элементов ее структуры

  • A. M. Вантеев Московский авиационный институт, Россия
  • A. И. Коробов Московский авиационный институт, Россия
Ключові слова: СБИС, технологический процесс, стабильность элементов, деградационные процессы, ускоренные испытания

Анотація

Применяемый в производстве СБИС метод тестовых схем предлагается дополнить методикой определения нестабильных во времени элементов физической структуры изделия с использованием модели деградационных процессов. Показана возможность проведения ускоренных испытаний на элементах структуры. Приведены экспериментальные результаты, демонстрирующие возможность выявить элементы с нестабильными во времени характеристиками на этапе производства пластин с кристаллами СБИС.

Опубліковано
2003-04-30
Як цитувати
ВантеевA. M., & КоробовA. И. (2003). Оценка технологического процесса изготовления СБИС по стабильности элементов ее структуры. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (2), 33-35. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2003.2.33
Номер
№ 2 (2003): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2003 А. М. Вантеев, А. И. Коробов

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.