Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "Оникс"

  • Г. В. Савицкий НПП «Карат», Львов, Украина
  • А. Ю. Бончик ИППМиМ им. Я. С. Пидстрыгача НАНУ, Львов, Украина
  • И. И. Ижнин НПП «Карат», Львов, Украина
  • С. Г. Кыяк ИППМиМ им. Я. С. Пидстрыгача НАНУ, Львов, Украина
  • И. А. Могиляк ИППМиМ им. Я. С. Пидстрыгача НАНУ, Львов, Украина
  • И. П. Тростинский НПП «Карат», Львов, Украина
Ключові слова: фотонный отжиг, полупроводниковые пластины, модернизация установки, температурно-временные циклы, управляющая программа

Анотація

Проведена модернизация промышленной установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "Оникс" для обеспечения повторяемости и воспроизводимости температурно-временных циклов отжига малой длительности при высоких скоростях нарастания температуры. Управляющая программа позволяет формировать температурно-временную диаграмму процесса отжига пластин по заданной с точностью установления времени ~0,01 секунды с визуальным контролем.

Опубліковано
2002-12-30
Як цитувати
Савицкий, Г. В., Бончик, А. Ю., Ижнин, И. И., Кыяк, С. Г., Могиляк, И. А., & Тростинский, И. П. (2002). Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "Оникс". Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (6), 45-47. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.45
Номер
№ 6 (2002): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2002 Савицкий Г. В., Бончик А. Ю., Ижнин И. И., Кияк С. Г., Могиляк И. А., Тростинский И. П.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.