Свойства двойных гетеропереходов p+-InP/n-InGaAsP/n-InP, изготовленных методом жид­ко­фаз­ной эпитаксии

  • Н. М. Вакив НПП «Карат», Львов, Украина
  • С. И. Круковский НПП «Карат», Львов, Украина
  • А. В. Сукач Институт физики полупроводников им. В. Е. Лашкарёва НАНУ, Киев, Украина
  • В. В. Тетёркин Институт физики полупроводников им. В. Е. Лашкарёва НАНУ, Киев, Украина
  • И. А. Мрыхин НПП «Карат», Львов, Украина
  • Ю. С. Михащук НПП «Карат», Львов, Украина
  • Р. С. Круковский НПП «Карат», Львов, Украина
Ключові слова: эпитаксиальные гетероструктуры, жидкофазная эпитаксия, легирование, электролюминесценция, фоточувствительность

Анотація

Получены эпитаксиальные гетероструктуры p+-InP/n-InGaAsP/n-InP, в которых ме­тал­лур­ги­чес­кая граница совпадает с электрической. Это достигается выращиванием до­пол­ни­тель­но­го буферного слоя n-InP и уменьшением времени выращивания эмиттерного p+-InP-слоя, сильно легированного Zn. Спектры электролюминесценции таких структур имеют ме­нь­шую полуширину и более высокую мощность ИК-излучения, чем те, в которых фор­ми­ру­ет­ся p-n-переход в InGaAsP-слое. Гетероструктуры предназначены для создания эф­фек­тив­ных ИК-светодиодов с длиной волны в максимуме спектра 1,06 мкм.

Опубліковано
2012-02-28
Як цитувати
Вакив, Н. М., Круковский, С. И., Сукач, А. В., Тетёркин, В. В., Мрыхин, И. А., Михащук, Ю. С., & Круковский, Р. С. (2012). Свойства двойных гетеропереходов p+-InP/n-InGaAsP/n-InP, изготовленных методом жид­ко­фаз­ной эпитаксии. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (2), 27-30. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2012.2.27