Роль пластической деформации в получении нанокремния

Анотація

Проведен качественный и количественный анализ связи пластической деформации по­верх­нос­ти и приповерхностной области кремния с получением наноструктурированного кремния. По­ка­за­но, что в результате высокотемпературного окисления кремния, а также ряда до­пол­ни­тель­ных причин, в приповерхностных слоях образуется сложная дефектная область, которая сос­то­ит из слоя мелкоблочного кремния и слоя, содержащего дислокационные сетки. Страв­ли­ва­ние диоксида кремния и обработка различными избирательными травителями поверхности поз­во­ля­ет получать наноструктурированный кремний с заданной топологией.