Газочувствительные элементы на основе пленок SiPcCl2

  • Х. С. Алиева Национальное аэрокосмическое агентство, Баку, Азербайджан
  • С. С. Сулейманов Национальное аэрокосмическое агентство, Баку, Азербайджан
  • М. Н. Муршудли Институт радиационных проблем НАН АР, Баку, Азербайджан
Ключові слова: газочувствительный элемент, резистивная структура, оксиды азота, напыление пленок, детектирующие характеристики фталоцианина кремния

Анотація

Анализируется влияние технологических параметров (условий получения, термообработки, тол­щи­ны) на характеристики резистивных структур с пленками фталоцианина кремния. Пленки по­лу­че­ны методом напыления. Показана их высокая чувствительность к оксидам азота. Со­по­став­ля­ют­ся электрические и детектирующие свойства при воздействии газа и температуры. Уточнены тем­пе­ра­тур­ные диапазоны работы. Малые значения времени отклика и десорбции наряду с высокой чув­стви­тель­но­стью позволяют использовать чув­стви­тель­ные структуры с фталоцианином крем­ния в газодетекторах.

Опубліковано
2010-04-26
Як цитувати
Алиева, Х. С., Сулейманов, С. С., & Муршудли, М. Н. (2010). Газочувствительные элементы на основе пленок SiPcCl2. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (2), 58-61. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.2.58
Номер
№ 2 (2010): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2010 Алиева Х. С., Сулейманов С. С., Муршудли М. Н.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.