Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок

  • А. Э. Иванчиков Завод полупроводниковых приборов НПО «Интеграл», Минск, Беларусь
  • A. M. Кисель Завод полупроводниковых приборов НПО «Интеграл», Минск, Беларусь
  • А. Б. Медведева Завод полупроводниковых приборов НПО «Интеграл», Минск, Беларусь
  • В. И. Плебанович Завод полупроводниковых приборов НПО «Интеграл», Минск, Беларусь
Ключові слова: струкрура пленки, скорость травления, спектр пропускания

Анотація

Установлено, что оценка качества пленки после различных технологических операций изготовления ИС может проводиться по изменению спектра пропускания пленки. Это позволяет исключить брак ИС, обусловленный обрывом слоя металла.

Опубліковано
2009-04-30
Як цитувати
Иванчиков, А. Э., КисельA. M., Медведева, А. Б., & Плебанович, В. И. (2009). Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (2), 46-50. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.2.46
Номер
№ 2 (2009): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2009 Иванчиков А. Э., Кисель А. М., Медведева А. Б., Плебанович В. И.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.