СБИС для микроэлектронного координатно-чувствительного детектора приборов эле­мент­но­го ана­ли­за ма­те­риа­лов

  • В. П. Сидоренко НИИ микроприборов НАНУ, Киев, Украина
  • В. Г. Вербицкий НИИ микроприборов НАНУ, Киев, Украина
  • Ю. В. Прокофьев НИИ микроприборов НАНУ, Киев, Украина
  • А. Ю. Кизяк НИИ микроприборов НАНУ, Киев, Украина
  • Ю. Е. Николаенко Министерство промышленной политики Украины, Киев, Украина
Ключові слова: СБИС, микроэлектронный координатно-чувствительный детектор, элементный анализ

Анотація

Разработанная СБИС обеспечивает одновременный анализ всех входящих в состав вещества эле­мен­тов с высокой чувствительностью и точностью. СБИС содержит 384 детектора с шагом 25 мкм. Применение микросхемы позволяет значительно снизить массу, габариты и энер­го­по­тре­бле­ние детектора, уменьшить время анализа и затраты исследуемого вещества.

Опубліковано
2009-04-30
Як цитувати
Сидоренко, В. П., Вербицкий, В. Г., Прокофьев, Ю. В., Кизяк, А. Ю., & Николаенко, Ю. Е. (2009). СБИС для микроэлектронного координатно-чувствительного детектора приборов эле­мент­но­го ана­ли­за ма­те­риа­лов. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (2), 25-29. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.2.25