Испаритель для термического напыления материалов в вакууме

  • В. И. Босый НПП «Сатурн», Киев, Украина
  • В. П. Кохан НПП «Сатурн», Киев, Украина
  • Н. М. Рахманов НПП «Сатурн», Киев, Украина
Ключові слова: напыление, испаритель, ленточный нагреватель, тигель, распределение температуры

Анотація

Рассмотрена конструкция испарителя, предназначенного для напыления материалов в вакуумно-напылительных установках, который успешно эксплуатируется в технологическом процессе изготовления арсенид-галлиевых транзисторов, диодов и монолитных схем.

Опубліковано
2008-10-30
Як цитувати
Босый, В. И., Кохан, В. П., & Рахманов, Н. М. (2008). Испаритель для термического напыления материалов в вакууме. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (5), 56-57. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.5.56
Номер
№ 5 (2008): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2008 Босый В. И., Кохан В. П., Рахманов Н. М.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.