Прогнозирование напряжения отсечки ионно-имплантированных полевых транзисторов с барьером Шоттки на GaAs

  • Н. Б. Горев Институт технической механики НАНУ и НКАУ, Днепропетровск, Украина
  • И. Ф. Коджеспирова Институт технической механики НАНУ и НКАУ, Днепропетровск, Украина
  • Е. Н. Привалов Институт технической механики НАНУ и НКАУ, Днепропетровск, Украина
Ключові слова: арсенид галлия, полевой транзистор, барьер Шоттки, напряжение отсечки, вольт-фарадная характеристика

Анотація

Показано, что напряжение отсечки ионно-имплантированного полевого транзистора с барьером Шоттки (ПТШ) на GaAs с хорошей точностью соответствует напряжению, при котором на вольт-фарадной характеристике появляется точка перегиба. Предложен метод прогнозирования напряжения отсечки ионно-имплантированных ПТШ с помощью вольт-фарадных измерений до нанесения контактов.

Опубліковано
2007-12-30
Як цитувати
Горев, Н. Б., Коджеспирова, И. Ф., & Привалов, Е. Н. (2007). Прогнозирование напряжения отсечки ионно-имплантированных полевых транзисторов с барьером Шоттки на GaAs. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (6), 3-5. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.6.03