Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров

  • A. A. Дружинин Национальный университет «Львовская политехника», Украина
  • В. И. Голота Национальный университет «Львовская политехника», Украина
  • И. Т. Когут Прикарпатский национальный университет имени Василия Стефаника, Ивано-Франковск, Украина
Ключові слова: технология изготовления, субмикронный размер, автоэмиссионный катод, апертура электрода, электрическое поле

Анотація

Проанализированы современные технологии изготовления авто­эми­сси­он­ных катодов. Предложен практический способ формирования то­по­ло­ги­чес­ких элементов субмикронных размеров. Разработана и промоделирована технология изготовления одноострийных, многоострийных и лезвийных автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров по КМОП-технологии с использованием фотошаблонов микронных размеров. Показаны результаты моделирования электрического поля автоэмиссионного катода.

Опубліковано
2007-10-28
Як цитувати
ДружининA. A., Голота, В. И., & Когут, И. Т. (2007). Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (5), 50-53. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.5.50
Номер
№ 5 (2007): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2007 Дружинин А. A., Голота В. И., Когут И. Т.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.