Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC

  • А. В. Лопин НТК «Інститут монокристалів» НАНУ, Харьков, Украина
  • А. В. Семенов НТК «Інститут монокристалів» НАНУ, Харьков, Украина
  • В. М. Пузиков НТК «Інститут монокристалів» НАНУ, Харьков, Украина
Ключові слова: волоконно-оптические датчики температуры, нанокристаллические пленки карбида кремния, прямое ионное осаждение, интерферометр Фабри-Перо

Анотація

На основе нанокристаллических пленок кубического политипа карбида кремния, полученных прямым ионным осаждением на подложке из лейкосапфира, разработан интерференционный датчик температуры. Приведены результаты измерений оптических свойств и термочувствительности структур "нанокристаллическая пленка-SiC/лейкосапфир".

Опубліковано
2007-08-30
Як цитувати
Лопин, А. В., Семенов, А. В., & Пузиков, В. М. (2007). Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (4), 19-22. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.4.19
Номер
№ 4 (2007): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2007 Лопин А. В., Семёнов А. В., Пузиков В. М.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.