Физико-технологические основы получения резкого p–n-перехода
Ключові слова:
резкий p–n-переход, жидкостная эпитаксия, промежуточный слой, раствор-расплав, охлаждение
Анотація
Приведен способ получения резкого p–n-перехода методом жидкостной эпитаксии, заключающийся в выращивании тонкого промежуточного слоя p-типа проводимости на сильнолегированной p+-подложке, а затем слоя n-типа проводимости из расплава, охлаждаемого с уменьшающейся скоростью.
Опубліковано
2006-08-31
Як цитувати
Каримов, А. В., Ёдгорова, Д. М., Юлдашев, Ш. Ш., & Болтаева, Ш. Ш. (2006). Физико-технологические основы получения резкого p–n-перехода. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (4), 59-60. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.4.59
Розділ
Articles
Авторське право (c) 2006 Каримов А. В., Ёдгорова Д. М., Юлдашев Ш. Ш., Болтаева Ш. Ш.

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.