Емкость тонкого проводника прямоугольного сечения в микросхеме

Анотація

Показаны отличия распределения заряда по объему токоведущих проводников микросхем и по объему уединенных пластин. Произведена оценка погрешности расчета емкости в приближении бесконечно малой толщины проводника. Предлагается метод оценки емкости при неизвестном распределении заряда, а также формулы для расчета потенциального коэффициента прямоугольного пленочного проводника с учетом его толщины и закона распределения заряда в слоистой среде.