Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок

  • С. Э. Семенова Рыбинская гос. авиационная технологическая академия им. П. А. Соловьева, Россия
  • Э. И. Семенов Рыбинская гос. авиационная технологическая академия им. П. А. Соловьева, Россия
Ключові слова: автоматизация, фотометрический контроль, скорость травления, диэлектрические пленки, тонкие пленки

Анотація

Предложена методика фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок, суть которой состоит в применении методов двойного дифференцирования и временных интервалов к сигналу фотометрического измерителя. Описана автоматизированная фотометрическая система, реализующая данную методику. Разработана программа для преобразования полученного сигнала, вычисления текущей скорости. На экран компьютера выводятся графики фотометрического сигнала, толщины пленки и мгновенной скорости нанесения или травления диэлектрической пленки.

Опубліковано
2006-02-28
Як цитувати
Семенова, С. Э., & Семенов, Э. И. (2006). Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (1), 43-45. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.1.43
Номер
№ 1 (2006): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2006 Семёнова С. Э., Семёнов Э. И.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.