Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок

  • Р. В. Рогов Черновицкий национальный университет имени Юрия Федьковича, Украина
  • С. В. Мельничук Черновицкий национальный университет имени Юрия Федьковича, Украина
  • Г. И. Воробец Черновицкий национальный университет имени Юрия Федьковича, Украина
Ключові слова: технологический процесс, технологический объект, полупроводники, устройство сопряжения, компьютерные сети, сетевые протоколы

Анотація

Предложена модель технологической сети и создано программное обеспечение (ПО) для контроля параметров и управления режимами технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок. Разработаны DLL-библиотеки, обеспечивающие связь между клиентской и серверной частями сети. Реализованы контроль параметров процесса, архивация результатов измерения и учет событий на объектах системы. Универсальность ПО позволяет оптимизировать процесс проектирования и налаживания технологической сети для произвольного типа оборудования.

Опубліковано
2005-10-30
Як цитувати
Рогов, Р. В., Мельничук, С. В., & Воробец, Г. И. (2005). Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (5), 52-54. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.5.52
Номер
№ 5 (2005): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2005 Рогов Р. В., Мельничук С. В., Воробец Г. И.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.