Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике

  • А. Ф. Белянин ЦНИТИ «Техномаш-ВОС», Москва, Россия
  • М. И. Самойлович ЦНИТИ «Техномаш-ВОС», Москва, Россия
  • В. Д. Житковский Пермский гос. технический ун-т, Березники, Россия
  • А. Л. Каменева Пермский гос. технический ун-т, Березники, Россия
Ключові слова: термозащитные пленочные покрытия на основе AlN, магнетронное распыление, устройства термопечати

Анотація

Для формирования защитного покрытия AlN, стойкого к воздействию ударных нагрузок, пригодны методы магнетронного и диодного распыления, а также распыления ионным пучком. В зависимости от условий проведения процесса получается различное содержание рентгеноаморфной и кристаллической фаз в объеме наноструктурированных покрытий и их волокнистое строение. Многослойные защитные покрытия получали последовательным нанесением на поверхности устройств слоев аморфного и кристаллического АlN с внутренним волокнистым строением слоя.

Опубліковано
2005-10-30
Як цитувати
Белянин, А. Ф., Самойлович, М. И., Житковский, В. Д., & Каменева, А. Л. (2005). Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (5), 35-41. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.5.35
Номер
№ 5 (2005): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2005 Белянин А. Ф., Самойлович М. И., Житковский В. Д., Каменева А. Л.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.