Детекторы оптического сигнала на основе структур Au-nSi-Al, Au-nSi

Анотація

Получены Au-nSi-Al-структуры с встречновключенными выпрямляющими переходами и Au-nSi-структуры с охранными высокоомными слоями с перекрытием металла. Показано, что фоточувствительность Au-nSi-Al-структуры в коротковолновой области почти на порядок больше, чем в видимой области спектра. Создание в приповерхностной области Au-nSi-структуры активного слоя из более высокоомного слоя наряду с расширением спектрального диапазона повышает ее фоточувствительность. Полученные структуры представляют интерес для детектирования оптических сигналов.