Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах

  • Н. Г. Джавадов ПО «Промавтоматика», Баку, Азербайджан
Ключові слова: спектральные фильтровые приборы, озонометр, фоторезистор, пленка поликристаллического кремния, размер зерна, фоточувствительность

Анотація

Предложено использовать мелкозернистые пленки поли­кристаллического кремния в качестве отсекающих фоторезисторов, спектральный диапазон пропускания которых можно регулировать размером зерен. Использование пленок поликристаллического кремния вместо монохроматических фильтров на основе стекла позволяет упростить конструкцию фильтровых спектральных приборов для дистанционного измерения малых газовых составляющих атмосферы.

Опубліковано
2005-02-28
Як цитувати
Джавадов, Н. Г. (2005). Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (1), 40-41. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.1.40
Номер
№ 1 (2005): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2005 Джавадов Н. Г.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.