Study of polycrystalline silicon films for application in spectral filter devices

  • N. G. Javadov GO «Promavtomatika», Baku, Azerbaijan
Keywords: spectral filter devices, ozonometer, photoresistor, polycrystalline silicon film, grain size, photosensitivity

Abstract

Предложено использовать мелкозернистые пленки поли­кристаллического кремния в качестве отсекающих фоторезисторов, спектральный диапазон пропускания которых можно регулировать размером зерен. Использование пленок поликристаллического кремния вместо монохроматических фильтров на основе стекла позволяет упростить конструкцию фильтровых спектральных приборов для дистанционного измерения малых газовых составляющих атмосферы.

Published
2005-02-28
How to Cite
Javadov, N. G. (2005). Study of polycrystalline silicon films for application in spectral filter devices. Technology and Design in Electronic Equipment, (1), 40-41. Retrieved from https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.1.40
Issue
No. 1 (2005): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature
Section
Articles

Copyright (c) 2005 Javadov N. G.

Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.