Математические модели сопротивления тонкопленочного резистора с размерами 50 мкм

Анотація

Ключевые слова: математическая модель, тонкопленочный резистор, номинальное сопротивление, систематические и случайные погрешности.

Рассмотрены основные виды погрешностей и их влияние на формирование сопротивления тонкопленочного резистора. В модель номинального сопротивления резистора дополнительно введены систематические погрешности длины и ширины, а также сопротивление его электродов. Применение полученных моделей позволит проектировать тонкопленочные резисторы с размерами 50 мкм и менее без изменения технологического процесса.