Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах

  • Ю. Г. Полтавцев Межотраслевой центр внедрения новых технологий "Эридан", Киев, Украина
  • П. Т. Вирченко Межотраслевой центр внедрения новых технологий "Эридан", Киев, Украина
  • В. В. Костюк Межотраслевой центр внедрения новых технологий "Эридан", Киев, Украина
Ключові слова: кремниевые пластины, перекисно-аммиачные растворы, десорбция, химическая обработка

Анотація

Методом радиоактивных изотопов исследована десорбция катионов (Na1+, Fe3+, Cu2+, Ag1+) и атомов (Au) металлов и анионов S2- и Cl1- с поверхности кремниевых пластин КДБ-10 ориентации (100

Опубліковано
2003-12-30
Як цитувати
Полтавцев, Ю. Г., Вирченко, П. Т., & Костюк, В. В. (2003). Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (6), 59-60. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2003.6.59
Номер
№ 6 (2003): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2003 Полтавцев Ю. Г., Вирченко П. Т., Костюк В. В.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.