Главная
Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2020, № 5-6, с. 33-39.
DOI: 10.15222/TKEA2020.5-6.33
УДК 621.3/669/67.02/67.05
Вирощування гетероепітаксійних шарів на неізоперіодних підкладках мeтодом скануючої рідиннофазової епітаксії
(українською мовою)
Цибуленко В. В., Шутов С. В.

Україна, м. Херсон, Інститут фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова НАН України.

Показано можливість вирощування методом скануючої рідиннофазової епітаксії суцільних по поверхні гетероепітаксійних шарів на підкладках, які значно відрізняються від шару за сталою ґратки і кристалохімічними властивостями. Це зроблено на прикладі гетероструктури «підкладка GaP — шар Ge», для якої різниця між значеннями сталих ґратки GaP та Ge складає 3,7%. Розчинником Ge слугував Ga. Гетероструктуру отримано методом скануючої рідиннофазової епітаксії в умовах надшвидкісного охолодження розчину-розплаву на початковому етапі росту. Показано, що якісніші гетероепітаксійні шари Ge на підкладці GaP можна отримати за використання низької швидкості росту на кінцевому етапі вирощування.

Ключові слова: скануюча рідиннофазова епітаксія, неізоперіодні гетероструктури, Ge, GaP, стала ґратки.

Дата подання рукопису 03.11 2020