http://dx.doi.org/10.15222/TKEA2018.1.13

УДК 621.3.049.77: 681.325

СБИС для микроэлектронного координатно-чувствительного детектора нового поколения с расширенным полем анализа
для масс-спектрометрии

Сидоренко В. П., Радкевич А. И., Прокофьев Ю. В.,
Таякин Ю. В., Вирозуб Т. М.

Ключевые слова: СБИС, микроэлектронный координатно-чувствительный детектор, масс-спектрометрия, КМОП-технология, быстродействие микросхемы.

Разработана специализированная СБИС для микроэлектронных координатно-чувствительных детекторов нового поколения — многокристальных детекторов с расширенным полем анализа, которые могут использоваться в масс-спектрометрах и обеспечивать одновременное определение элементов, входящих в состав вещества, с высокой чувствительностью и точностью. СБИС спроектирована на основе современной КМОП-технологии с проектными нормами 1,0 мкм, что позволило получить частоту подсчета импульсов более 15 МГц, быстродействие в режиме считывания 10 МГц, разрядность счетчиков 16.

Украина, г. Киев, Институт микроприборов НАНУ.