http://dx.doi.org/10.15222/TKEA2016.4-5.53

УДК 539.1.074

Координатно-чувствительный детектор заряженных частиц
для спектроскопии

Сидоренко В. П., Прокофьев Ю. В., Мурченко Д. С., Еременко В. М., Шелехов А. В.

Ключевые слова: координатно-чувствительный детектор, спектроскопия, элементный анализ, большая интегральная схема, микроканальная пластина.

Разработан, изготовлен и исследован координатно-чувствительный детектор заряженных частиц для спектроскопии, который может использоваться в аналитической аппаратуре, обеспечивая одновременный анализ всего элементного состава материалов с высокой чувствительностью и точностью. Детектор построен на основе разработанной спе­ци­а­ли­зи­ро­ванной большой интегральной схемы и микроканальных пластин.

Украина, г. Киев, НИИ микроприборов НАНУ; г. Сумы, Институт прикладной физики НАНУ.