УДК 621.793.184:621.3.049.76

Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления

В. В. Брайловский, О. Е. Иларионов

Предложена тонкопленочная технология миниатюризации объемных медных термопреобразователей сопротивления. Термочувствительный слой формировался на жесткой подложке. Формирование бифилярной структуры осуществлялось с использованием процессов фотолитографии. Механическая прочность слоев и их временная стабильность обеспечивалась использованием адгезионного и трехслойного защитного слоя. Напыление адгезионного и защитного слоев Ti–W осуществлялось в едином технологическом цикле.

Украина, Черновицкий гос. университет им. Ю. Федьковича.