Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния

  • A. A. Дружинин Национальный университет «Львовская политехника», Львов, Украина
  • А. П. Кутраков Национальный университет «Львовская политехника», Львов, Украина
  • Н. С. Лях-Кагуй Национальный университет «Львовская политехника», Львов, Украина
  • A. M. Вуйцик Национальный университет «Львовская политехника», Львов, Украина
Ключові слова: нитевидные кристаллы, кремний, датчик, температура, давление

Анотація

Представлена конструкция датчика давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния р-типа, легированных бором, с удельным сопротивлением 0,005 Ом?см, который работоспособен в интервале температур от –100 до +200°С и в диапазоне давлений от 0 до 20 МПа. Датчик предназначен для широкой области применений.

Опубліковано
2013-06-14
Як цитувати
ДружининA. A., Кутраков, А. П., Лях-Кагуй, Н. С., & ВуйцикA. M. (2013). Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (4), 23-26. вилучено із http://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2013.4.23
Номер
№ 4 (2013): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2013 Дружинин А. А., Кутраков А. П., Лях-Кагуй Н. С., Вуйцик А. М.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.