Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния

  • A. A. Дружинин Национальный университет «Львовская политехника», Львов, Украина
  • А. П. Кутраков Национальный университет «Львовская политехника», Львов, Украина
  • И. И. Марьямова Национальный университет «Львовская политехника», Львов, Украина
Ключові слова: кремний, тензорезистор, датчики давления, высокие температуры

Анотація

Проведены исследования, направленные на создание тензорезистивных датчиков давления на основе нитевидных кристаллов кремния, работоспособных при высоких температур. Использование стеклоприпоя для крепления тензорезисторов на упругих элементах датчиков из коварового сплава позволило повысить диапазон рабочих температур датчиков. На основе предложенной тензомодульной конструкции разработаны датчики давления различной модификации.

Опубліковано
2012-12-27
Як цитувати
ДружининA. A., Кутраков, А. П., & Марьямова, И. И. (2012). Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (6), 25-28. вилучено із http://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2012.6.25
Номер
№ 6 (2012): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2012 Дружинин А. А., Кутраков А. П., Марьямова И. И.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.