Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в про­цес­се роста

Анотація

Исследовано влияние условий осаждения на состав пленок поликристаллического кремния, ле­ги­ро­ван­но­го в процессе роста кислородом (ПКЛК). Разработана адсорбционно-ки­не­ти­чес­кая модель процесса осаждения ПКЛК с использованием концентрированного мо­но­си­ла­на и закиси азота. Определена область оптимальных соотношений их расходов и тем­пе­ра­ту­ры осаждения, при которых обеспечиваются приемлемая скорость и однородность осаж­де­ния, а также управляемость по содержанию кислорода в пленках и конформное осаж­де­ние пленок ПКЛК.