Разработка конструкции и технологии изготовления комплементарных транзисторов для радиационно стойких ИС
Ключові слова:
комплементарные транзисторы, диэлектрическая изоляция, vтехнологические процессы, радиационно стойкие ИС
Анотація
Разработана конструкция вертикальных комплементарных транзисторов с полной диэлектрической изоляцией, разработаны новые технологические процессы создания на их основе радиационно стойких ИС с параметрами, которые обеспечивают низкие значения тока утечки наряду со значительными величинами прямого тока и пробивного напряжения при частоте обмена сигналов информации на уровне 500 кГц.
Опубліковано
2011-06-28
Як цитувати
ГорбаньA. H., & КравчинаB. B. (2011). Разработка конструкции и технологии изготовления комплементарных транзисторов для радиационно стойких ИС. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (3), 23-26. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.3.23
Розділ
Articles
Авторське право (c) 2011 Горбань А. Н., Кравчина В. В.

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.