Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия

Анотація

Проведено исследование свойств пленок CeO_x, изготовленных разными методами. Сравнительный анализ показал, что метод «окисления металлического зеркала» позволяет получить пленки со значительно лучшими характеристиками, чем метод «взрывного испарения», хотя при использовании последнего метода полученные пленки CeO_x и структуры на их основе имеют более высокую фоточувствительность. При этом была определена оптимальная температура подложки. Полученные данные расширяют область применения CeO_x-пленок для микроэлектронных сенсоров.