Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией

Анотація

Исследованы характеристики ВЧ-источника ионов с односеточной ИОС с диаметром пучка 250 мм и током пучка до 1 А. Измерены функции распределения по энергии ионов и электронов, эмитируемых источником. Показано, что количество эми­ти­ру­е­мых источником электронов до­ста­точ­но для полной токовой компенсации пучка ионов. Предложен метод управления со­от­но­ше­ни­ем токов ионов и электронов, эмитируемых источником, который позволяет изменять это со­от­но­ше­ние в широких пределах. Использование ВЧ индукционного разряда в источнике по­зво­ли­ло до­стичь высоких плотностей тока в диапазоне низких энергий ионов с возможностью не­за­ви­си­мо­го уп­рав­ле­ния энергией и плотностью тока ионов.