Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума

  • Ю. К. Васильев НИИ вакуумной техники им. С. А. Векшинского, Москва, Россия
  • С. Б. Нестеров НИИ вакуумной техники им. С. А. Векшинского, Москва, Россия
  • Т. С. Васильева НИИ вакуумной техники им. С. А. Векшинского, Москва, Россия
Ключові слова: безмасляный форвакуумный насос, винтовой насос, высоковакуумные средства откачки, магнитный подвес, криовакуумный насос

Анотація

Показано влияние развития полупроводниковой промышленности на основные современные тен­ден­ции развития вакуумной техники и рынка вакуумного оборудования — форвакуумных и вы­со­ко­ва­куумных средств откачки, вакуумметрии и другого аналитического вакуумного обо­ру­до­ва­ния. Оценивается емкость различных региональных рынков вакуумного оборудования.

Опубліковано
2010-04-26
Як цитувати
Васильев, Ю. К., Нестеров, С. Б., & Васильева, Т. С. (2010). Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (2), 47-51. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.2.47
Номер
№ 2 (2010): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2010 Васильев Ю. К., Нестеров С. Б., Васильева Т. С.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.