Метод считывания и обработки стационарных интерференционных картин
Анотація
Оптоэлектронная система считывания позволяет получать и обрабатывать изображение интерференционной картины в интерферометре Кестерса в режиме реального времени и обладает достаточной разрешающей способностью. Среднее квадратичное отклонение результата измерений составляет 0,001 мкм. Общее время, затрачиваемое на измерение и обработку результатов, сократилось с двух часов до 30 минут.
Авторське право (c) 2009 Ильин В. Н., Дубешко А. В., Михаевич Д. А.

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.