Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах
Анотація
Представлены конструкция, технология изготовления, схема измерения параметров первичных преобразователей (ПП) микродатчиков ускорения и давления с использованием алмазных материалов. Описана методика расчета и экспериментальный способ определения основных параметров микродатчиков. Рассчитанное значение емкости 11 пФ для ПП датчика ускорения хорошо согласуется с экспериментальными значениями. Рабочий диапазон измерения ускорения — от 100 до 1800 м/с2, при этом емкость практически линейно меняется в диапазоне 11—20,5 пФ. Для ПП датчика давления рассчитанное значение емкости 7 пФ, также соответствует экспериментальным значениям. Рабочий диапазон измерения давления — от 1 до 19,5 кПа, при этом емкость практически линейно меняется в диапазоне 6,4—11,7 пФ.
Авторське право (c) 2009 Алтухов А. А., Митягин А. Ю., Могучев А. В., Митягина А. Б.

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.