Све­то­филь­тры с тон­ко­пле­ноч­ным проз­рач­ным на­гре­ва­те­лем

Анотація

Рас­смот­ре­ны прин­ци­пи­аль­ные во­про­сы соз­да­ния све­то­фильт­ров с ан­ти­бли­ко­вым по­кры­ти­ем и тон­ко­пле­ноч­ным про­зрач­ным на­гре­ва­те­лем на ос­но­ве тон­ких (от 5 до 400 нм) пле­нок ок­си­дов крем­ния, ин­дия и ти­та­на. Раз­ра­бо­та­ны ком­пью­тер­ные про­грам­мы вы­бо­ра оп­ти­маль­ной кон­струк­ции и ре­жи­мов ва­ку­ум­но­го на­пы­ле­ния ин­тер­фе­рен­ци­он­ных по­кры­тий све­то­филь­тра. Про­ве­ден­ные ис­сле­до­ва­ния па­ра­мет­ров и ха­рак­те­рис­тик че­ты­рех ма­ке­тов све­то­филь­тров под­твер­ди­ли пра­виль­ность выб­ран­ных кон­струк­тор­ско-тех­но­ло­ги­че­ских ре­ше­ний.