Электроосаждение конформных электродов для получения туннельного перехода с вакуумным нанозазором

Анотація

Электроосаждение медного электрода на подложке Si осуществляется для получения вакуумного нанозазора большой площади для термотуннельных приборов. Для получения правильной геометрии такого электрода и уменьшения внутреннего напряжения в нем использовали вращение катода, различные защитные маски, асимметричный токовый режим, регулирование и стабилизацию температуры электролита. Уменьшение диаметра электрода до 3 мм и увеличение толщины исходной кремниевой пластины до 2 мм дает возможность вырастить электрод с изгибом порядка 2,5 нм/мм. Это позволило получить два конформных электрода с нанозазором менее 5 нм на площади 7 мм². Такие конформные электроды можно использовать в устройствах на основе туннельного прохождения электронов.