Технология и оборудование для обработки алмазных материалов современной электроники

Анотація

Разработаны методы отбора и сортировки алмазов по электрофизическим свой­ствам со­вре­мен­ны­ми фи­зи­чес­ки­ми ме­то­да­ми ана­ли­за, тех­но­ло­гии пре­ци­зи­он­ной ла­зер­ной рез­ки ал­ма­зов, их об­ра­бот­ки на ос­но­ве тер­мо­хи­ми­чес­ких ре­ак­ций в га­зо­вой сре­де. Соз­да­на эк­спе­ри­мен­таль­ная ус­та­нов­ка для по­ли­ро­ва­ния и шли­фо­ва­ния ал­маз­ных плас­тин, ус­та­нов­ка для рез­ки, ус­та­нов­ка плаз­мо­хи­ми­чес­кой об­ра­бот­ки. Раз­ра­бо­та­ны ме­то­ди­ки из­ме­ре­ния ше­ро­хо­ва­тос­ти по­вер­хно­сти об­ра­бо­тан­ных плас­тин и кон­тро­ля па­ра­мет­ров ше­ро­хо­ва­тос­ти. При­ве­де­ны не­ко­то­рые эк­спе­ри­мен­таль­ные ре­зуль­та­ты.