Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке

  • И. В. Белоусов Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко, Украина
Ключові слова: самоформирующиеся структуры, латеральный рост, локальное зарождение, силицидная фаза, интегральная схема

Анотація

Исследованы процессы локального зарождения и последующей направленной латеральной кристаллизации силицидной фазы кобальта на поверхности монокристаллического кремния. Рассмотрены возможности создания самоформирующихся субмикронных и наноразмерных элементов кремниевых интегральных схем.

Опубліковано
2007-10-28
Як цитувати
Белоусов, И. В. (2007). Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (5), 54-57. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.5.54
Номер
№ 5 (2007): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2007 Белоусов И. В.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.