Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезоэлементах для зондового наномикроскопа

  • В. М. Шарапов Черкасский государственный технологический университет, Украина
  • А. Н. Гуржий Черкасский государственный технологический университет, Украина
  • С. А. Филимонов Черкасский государственный технологический университет, Украина
Ключові слова: наномикроскоп, пьезокерамический сканер, построение модели

Анотація

Предложена и исследована конструкция пьезокерамического сканера для наномикроскопов на основе биморфных пьезоэлементов. Построена и исследована модель этого сканера при помощи программы MicroCap 7.0. Установлено, что уровень связи между биморфными пьезоэлементами, которые создают колебания по координатам X, Y, Z, не превышает –20 дБ.

Опубліковано
2007-08-30
Як цитувати
Шарапов, В. М., Гуржий, А. Н., & Филимонов, С. А. (2007). Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезоэлементах для зондового наномикроскопа. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (4), 13-15. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.4.13
Номер
№ 4 (2007): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2007 Шарапов В. М., Гуржий А. Н., Филимонов С. А.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.