Aвтоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур

  • Ю. В. Бойко Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко, Украина
  • Г. В. Кузнецов Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко, Украина
  • С. М. Савицкий Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко, Украина
  • О. В. Третяк Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко, Украина
Ключові слова: релаксационный спектрометр, глубокие уровни, примесные и дефектные центры

Анотація

Описан автоматизированный спектрометр для исследования параметров примесных и дефектных центров в полупроводниках и полупроводниковых структурах методом релаксационной спектроскопии глубоких уровней. Разработка набора программ для управления и обработки данных позволяет автоматизировать процессы измерения и увеличить точность полученных результатов.

Опубліковано
2007-06-29
Як цитувати
Бойко, Ю. В., Кузнецов, Г. В., Савицкий, С. М., & Третяк, О. В. (2007). Aвтоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (3), 59-61. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.3.59
Номер
№ 3 (2007): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2007 Бойко Ю. В., Кузнецов Г. В., Савицкий С. М., Третяк О. В.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.