Повышение качества изделий электронной техники путем моделирования стадий их производства

Анотація

технология интегральных схем, пассивный эксперимент, математическое моделирование.

Рассматривается методика исследования технологического процесса производства интегральных микросхем с целью повышения качества готовой продукции в условиях производства. Предлагается эффективный метод определения математических моделей, описывающих зависимость выходных показателей качества изделий от технологических факторов по результатам измерений параметров непосредственно в производственном процессе (на базе пассивной информации).