Технологии изготовления фотонных кристаллов

  • Б. М. Березянский НТУУ «Киевский политехнический институт», Украина
Ключові слова: фотонные кристаллы, методы литографии, молекулярные технологии

Анотація

Приведен обзор методов изготовления фотонных кристаллов для нанофотонных интегральных микросхем. Проведен сравнительный анализ существующих технологий. Рассмотрены перспективы применения этих технологий в условиях промышленного производства устройств на основе фотонных кристаллов. Сделаны выводы по применению методов в различных промышленных условиях.

Опубліковано
2007-02-28
Як цитувати
Березянский, Б. М. (2007). Технологии изготовления фотонных кристаллов. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (1), 45-51. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.1.45
Номер
№ 1 (2007): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2007 Березянский Б. М.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.