Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния

  • Е. Л. Жавжаров Запорожский национальный технический университет, Украина
  • В. М. Матюшин Запорожский национальный технический университет, Украина
Ключові слова: кремний, поверхность, атомарный водород, потенциал поверхности, структура

Анотація

Исследовалось влияние атомарного водорода на монокристаллы кремния при комнатных температурах, давлении в рабочей камере 20 Па и концентрациях атомарного водорода 1019 м–3. Образцы кремния разного типа проводимости с разной ориентацией обрабатывались в среде атомарного водорода в течение 30—720 с. Показано, что воздействие атомарного водорода приводит к изменению электрофизических параметров кристаллов кремния, а также изготовленных на их основе структур "металл—полупроводник". Предложен физический механизм, объясняющий результаты исследований.

Опубліковано
2006-08-31
Як цитувати
Жавжаров, Е. Л., & Матюшин, В. М. (2006). Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (4), 61-64. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.4.61
Номер
№ 4 (2006): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2006 Жавжаров Е. Л., Матюшин В. М.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.