Технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов

Анотація

Разработан универсальный источник ионов, который при соответствующей компоновке конструктивных узлов может служить генератором плазмы, источником ускоренных потоков ионов различных веществ, включая активные газы. В режимах работы ускорителя ионов источник обеспечивает потоки ионов с токами до 0,6 А и энергиями до 5 кэВ с равномерным распределением плотности тока ионов в поперечном сечении потока площадью до 0,2 м².