Прогнозирование разброса параметров полевых транзисторов с барьером Шоттки на GaAs

  • Н. Б. Горев Институт технической механики НАНУ и НКАУ, Днепропетровск, Украина
  • И. Ф. Коджеспирова Институт технической механики НАНУ и НКАУ, Днепропетровск, Украина
  • Е. Н. Привалов Институт технической механики НАНУ и НКАУ, Днепропетровск, Украина
Ключові слова: арсенид галлия, полевой транзистор, барьер Шоттки, глубокие центры, ток насыщения, крутизна, напряжение отсечки, разброс параметров

Анотація

Показано, что в случае полевых транзисторов с барьером Шоттки на трехслойных структурах GaAs (пленка — буферный слой — подложка) о разбросе параметров транзисторов, вызванном неоднородным распределением глубоких центров по пластине, можно судить по одной величине, а именно, по эффективной концентрации незаполненных глубоких центров на границе "пленка — буферный слой", которая характеризует интегральное влияние глубоких центров в буферном слое и подложке на токоперенос в пленке и может быть определена из низкочастотной вольт-фарадной характеристики.

Опубліковано
2006-08-31
Як цитувати
Горев, Н. Б., Коджеспирова, И. Ф., & Привалов, Е. Н. (2006). Прогнозирование разброса параметров полевых транзисторов с барьером Шоттки на GaAs. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (4), 36-39. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.4.36