Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии

  • В. А. Воронин Национальный университет «Львовская политехника», Украина
  • С. К. Губа Национальный университет «Львовская политехника», Украина
  • В. Н. Сиверс Национальный университет «Львовская политехника», Украина
Ключові слова: газофазная эпитаксия, математическое моделирование, реактор

Анотація

Предложена методология обобщенного подхода к моделированию кинетических процессов формирования газовой фазы, процессов переноса составных веществ в поле неравновесных концентраций в условиях неоднородного температурного поля. Использовались вероятностные методы расчета характеристик массопереноса. Представлена система уравнений диффузии в интегральном виде. Решение полученных уравнений для конкретных систем и реакторов позволяет определить неравновесные концентрации компонентов как функцию координат и времени в объеме реактора.

Опубліковано
2006-06-30
Як цитувати
Воронин, В. А., Губа, С. К., & Сиверс, В. Н. (2006). Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (3), 50-55. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.3.50
Номер
№ 3 (2006): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2006 Воронин В. А., Губа С. К., Сиверс В. Н.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.