Измерение толщины покрытий в процессе их нанесения с помощью емкостного датчика

  • А. С. Истомин Рыбинская гос. авиационная технологическая академия им. П. А. Соловьева, Россия
  • Э. И. Семенов Рыбинская гос. авиационная технологическая академия им. П. А. Соловьева, Россия
Ключові слова: автоматизация, емкостной датчик, толщина пленки, тонкие пленки, компьютерная система контроля

Анотація

Для контроля толщины покрытий в вакууме предлагается емкостный датчик, выполненный с применением сетки или перфорации. Предлагаемый метод основан на зависимости емкости конденсатора от расстояния между его обкладками - в процессе осаждения материала измеряется емкость конденсатора, и ее приращение позволяет судить о толщине нанесенного покрытия. Авторами создана автоматизированная компьютерная система контроля толщины покрытий и разработана программа для анализа процесса нанесения материала.

Опубліковано
2006-04-30
Як цитувати
Истомин, А. С., & Семенов, Э. И. (2006). Измерение толщины покрытий в процессе их нанесения с помощью емкостного датчика. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (2), 49-51. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.2.49
Номер
№ 2 (2006): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2006 Истомин А. С., Семенов Э. И.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.