Низкотемпературная модификация медных пленок под воздействием атомарного водорода

  • Е. Л. Жавжаров Запорожский национальный технический университет, Украина
  • В. М. Матюшин Запорожский национальный технический университет, Украина
Ключові слова: атомарный водород, медные пленки, адгезия, когезия

Анотація

Рассматривается возможность низкотемпературной модификации свойств тонких пленок меди под воздействием атомарного водорода. Представлены результаты экспериментального исследования изменения адгезионных и когезионных свойств медных пленок в составе гетероструктуры "медь – кремний" от времени обработки атомарным водородом. Предложена модель, качественно объясняющая результаты эксперимента.

Опубліковано
2006-02-28
Як цитувати
Жавжаров, Е. Л., & Матюшин, В. М. (2006). Низкотемпературная модификация медных пленок под воздействием атомарного водорода. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (1), 50-53. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.1.50
Номер
№ 1 (2006): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2006 Жавжаров Е. Л., Матюшин В. М.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.